신성이엔지, 반도체 대전서 클린룸 장비 선보인다

▲신성이엔지가 ‘제 24회 반도체 대전’에서 선보일 FFU(팬 필터 유닛)의 모습. 신성이엔지.

[에너지경제신문 이원희 기자] 신성이엔지가 반도체 제조 시설인 클린룸의 주요 장비를 ‘제24회 반도체 대전(SEDEX2022)’에서 선보인다고 5일 밝혔다.

▲신성이엔지가 ‘제 24회 반도체 대전’에서 선보일 V-master의 모습. 신성이엔지.

신성이엔지는 이날 열린 반도체 대전에서 클린룸의 주요 장비들인 △산업용 공기청정기인팬 필터 유닛( FFU) △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) △파티클 가시화 시스템 등을 선보인다.

V-master는 반도체 제조 시설의 유해물질을 제거하기 위한 장비다. 기류 연동 시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 내부의 압력을 유지하고 청정 공기를 공급한다. 파티클 가시화 시스템은 반도체 공정 중에 불량을 일으키는 먼지 등 오염 원인을 파악하고 해결책을 도출하는데 사용된다

신성이엔지 관계자는 "클린룸은 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간으로 먼지·온도·습도 등을 완벽하게 제어한다"며 "신성이엔지는 지난 1991년 FFU를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했고 현제 전세계 시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 등 우수한 기술력을 자랑한다"고 밝혔다.


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