SK하이닉스, 저전력 펌프 개발·도입…소비전력 40%↓

신규팹·용인클러스터에 도입

SK하이닉스가 전력 소비량을 40%가량 감축할 수 있는 새로운 저전력 펌프를 개발했다고 25일 밝혔다.

SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 회사는 새로 짓는 중인 M15X 팹(반도체 생산공장)과 용인 클러스터에 신규 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다.

펌프는 반도체 공정에서 고(高)진공 환경을 만들어 불순물을 제거하는 장비로, 반도체의 품질과 수율을 결정하는 역할을 한다. 실제 펌프 구동을 위해 사용되는 전력은 팹 전체 소비전력의 15% 수준이다.

회사는 앞서 2022년 연구·제조·설비·환경·구매 등 각 분야 기술 인력으로 구성된 탄소관리위원회를 출범하고 12개의 세부 분과를 통해 2050년 넷제로 달성을 위한 온실가스 배출 저감 활동을 추진 중이다.

이 중 저전력 펌프 도입 분과는 모터·소재·구조 변경과 신규 아키텍처 도입을 통해 신규 저전력 펌프를 개발했다. 3분기부터 신규 투자를 통해 기존 운영 중인 팹에 신규 저전력 펌프를 도입 중이며, 점진적으로 범위를 넓힐 계획이라고 회사 측은 설명했다.

또 식각공정의 펌프 용량을 기존 3만리터(ℓ)에서 2만ℓ로 줄여도 반도체 품질과 수율에 큰 차이가 없다는 평가 결과를 도출했다. 3분기부터 진행된 식각공정 신규 투자엔 저전력 펌프 도입뿐 아니라 용량까지 줄여 효과를 극대화하고 있다.

신규 팹의 경우 기존 운영 중인 M14 팹의 메인 프로세스 공정 기준 전력 소비량을 추산하면, 기존 펌프 사용시 전력 소비량 대비 39.7%가량 저감할 수 있다. 기존 운영 중인 펌프의 회전속도(RPM)를 낮춰 소비 전력을 저감하기 위한 노력도 병행하고 있다는 설명이다.

회사 관계자는 “전력 소비 감소는 전력 생산을 위한 탄소 배출 저감으로 이어지기 때문에 스코프2(간접 배출) 배출량 감축에도 크게 기여할 것"이라며 “탄소 배출 저감과 함께 투자·수리·운영비 등을 절약할 수 있을 것"이라고 말했다.

박규빈 기자 kevinpark@ekn.kr